千級(jí)半導(dǎo)電芯片實(shí)驗(yàn)室清潔前?：大顆粒懸浮物，設(shè)備表面較多蒙塵，只有萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)都受影響，經(jīng)深度清潔后滿足標(biāo)準(zhǔn)。
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千級(jí)半導(dǎo)電芯片實(shí)驗(yàn)室清潔前?：大顆粒懸浮物，設(shè)備表面較多蒙塵，只有萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)都受影響，經(jīng)深度清潔后滿足標(biāo)準(zhǔn)。
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